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高纯气体用作零点气的制作完全类似于气体标准物质的制作，但操作过程可以简化。通常使用的稀释气体中的某种或某类杂质含量低于分析方法所采用测量仪器的最小检出量，则此种稀释气就可作为“零点”气使用。
几种高纯气体的应用
1、环氧乙烷可用作生产增塑剂、润滑剂等；
2、氯甲烷是重要的甲基化剂，还可作致冷剂、发泡剂等；
3、氯乙烷可用作烟雾剂、冷冻剂、汽油抗震剂、局部麻醉剂；
4、二甲醚可作喷气推进剂、制冷剂、麻醉剂；甲硫醇用于合成染料、医药、农药；
5、乙炔可直接用于金属切割焊接、原子吸收；乙烯基乙炔主要作为氯丁橡胶原料等。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。
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